第８９回ＪＯＥＭ案内

【機能性高分子材料研究会、(財)浅間テクノポリス開発機構との共催】

日時：1997年６月１３日（金）１時 〜 ６時３０分
会場：ささや　会議室 (長野県上田市)　TEL：0268-22-0128

プログラム：　感光性材料の新展開 座長　信州大　谷口 彬雄

• 1:00〜1:40 マイクロエレクトロニクス用フォトポリマー 日立 日立研　上野 巧
• 1:40〜2:20 ArFエキシマーレーザーレジストの最新動向 ＮＥＣ 機能研　中野嘉一郎
• 2:20〜3:00 化学増幅系レジスト ＮＴＴ ＥＬ研　中村 二朗
• 3:20〜4:00 液晶ディスプレイ用顔料レジスト ヘキストジャパン 先端研　工藤 隆範
• 4:00〜4:40 パッケージ製造におけるフォトレジスト 新光電気　小山 利徳
• 4:40〜4:50 補充討論・総括討論
• 5:00〜6:30 自由討論・懇親会

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